ไม่เพียงแต่บริษัทพลังงานเท่านั้นที่ต้องให้ความสนใจกับการปล่อยก๊าซเรือนกระจก ในปีหน้า แคลิฟอร์เนียมีกำหนดจะปฏิบัติตามกฎการปล่อยก๊าซภายใต้กฎหมายว่าด้วยภาวะโลกร้อน ซึ่งจะกำหนดขีดจำกัดการปล่อยทั่วทั้งรัฐ ซึ่งกำหนดให้แหล่งอุตสาหกรรมที่ใหญ่ที่สุดต้องรายงานและตรวจสอบการปล่อยก๊าซเรือนกระจก เมื่อมีการบังคับใช้กฎหมายลดหย่อนโดยสมัครใจที่อื่นๆ ในโลก
โอกาส
ที่หลายบริษัทจะได้รับผลกระทบโดยตรงจากมาตรการดังกล่าว โดยเฉพาะอย่างยิ่งบริษัทที่ปล่อยก๊าซเรือนกระจกชนิดที่เลวร้ายที่สุด ซึ่งเรียกว่าสารประกอบเพอร์ฟลูออริเนต (PFCs) อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ใช้สาร PFCs มาเป็นเวลานานในการทำความสะอาดอุปกรณ์ที่สะสมไอระเหยของสารเคมี
ระหว่างการวิ่งที่ฝากวัสดุเซมิคอนดักเตอร์เป็นชั้นบางๆ ลงบนพื้นผิว จะใช้ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ หรือเฮกซะฟลูออโรอีเทนเพื่อกำจัดสิ่งปนเปื้อนออกจากห้องตัวอย่าง “การผลิต ต้องการการทำความสะอาดห้องระหว่างการปฏิบัติงานเพื่อรักษาความบริสุทธิ์ของชั้นที่สะสมไว้”
หัวหน้าฝ่ายผลิตภัณฑ์เพื่อสิ่งแวดล้อมระดับโลกผู้จัดหาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์กล่าว “โดยทั่วไป CVD เป็นแอปพลิเคชันการลดความสำคัญสูงสุดสำหรับผู้ใช้ของเรา” จากสำนักงานใหญ่ในแคลิฟอร์เนียเป็นผู้จัดหาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ รวมทั้ง CVD และระบบลดก๊าซ บริษัทกำลังสนับสนุน
การใช้อนุมูลฟลูออรีนแทน PFCs ในการทำความสะอาดห้องเพื่อกำจัดการปล่อยก๊าซอันตรายเหล่านี้ วิธีการดังกล่าวใช้การให้ความร้อนด้วยไมโครเวฟเพื่อสร้างพลาสมาจากสาร PFCs ที่เข้าสู่ห้อง โดยแยกออกจากกันเพื่อสร้างอนุมูลฟลูออรีน จากนั้นอนุมูลฟลูออรีนจะทำความสะอาดห้องเพาะเลี้ยง
ก่อตัวเป็นก๊าซที่ไม่ก่อให้เกิดภาวะโลกร้อน ผู้จัดการฝ่ายการตลาดผลิตภัณฑ์ของปั๊มสุญญากาศและบริษัทจัดการไอเสีย เตือนว่าแม้ว่าจะมีเทคโนโลยีเพื่อหยุดการปล่อยสาร PFCs ที่เป็นอันตรายดังกล่าว แต่ก็ยังมีงานอีกมากที่ต้องทำเพื่อควบคุมการปล่อยสารดังกล่าว “คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์
สหราชอาณาจักร
ซึ่งเป็นที่ตั้งฐานการผลิตของผลิตภัณฑ์หลักที่ผลิตขึ้นเพื่อลดสาร PFCs คือตัวเผาไหม้ ซึ่งทำงานคล้ายกับการลดพลาสมา อย่างไรก็ตาม แทนที่จะทำลายสาร PFCs เมื่อเข้าสู่อุปกรณ์การผลิต เครื่องเผาไหม้จะสลายสาร PFCs ในก๊าซไอเสียเมื่อสิ้นสุดกระบวนการ แม้ว่าจะมีข้อบังคับจากรัฐบาลทั่วโลก
แต่ กล่าวว่าบริษัทต่างๆ ยังไม่สามารถแก้ไขปัญหา PFC ของตนได้อย่างสมบูรณ์ ในขณะที่เครื่องมือ CVD ประกอบชั้นของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ PFCs ยังใช้เพื่อกัดเวเฟอร์ที่เป็นผลลัพธ์ขณะที่พวกมันถูกประมวลผลเพื่อสร้างอุปกรณ์ขั้นสุดท้าย การแกะสลักใช้ก๊าซเพียง 10% ของปริมาณที่จำเป็น
ในการทำความสะอาดเครื่องมือ CVD แต่เนื่องจากใช้คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ การปล่อยก๊าซจึงเป็นปัญหามากกว่าที่หลายบริษัทตระหนัก “แม้ว่าจะใช้ในปริมาณที่น้อยกว่า แต่โดยทั่วไปแล้วก๊าซจะสร้างความเสียหายมากกว่าจากมุมมองของภาวะโลกร้อน” “การประมวลผล Etch แสดงถึงเป้าหมาย
การลด PFC ที่สำคัญครั้งต่อไป” เห็นด้วย “ทุกวันนี้ การลดการผลิตการกัดกรดมักจะมุ่งไปที่การป้องกันสารพิษและการกัดกร่อน โดยให้ความสนใจกับการทำลายสายพันธุ์ก๊าซเรือนกระจก PFC น้อยลง”ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ระบบมักจะจัดการกับการไหลของก๊าซหลายร้อยลิตรต่อนาที
อาจประกอบด้วยประมาณ 10% และส่วนที่เหลือเป็นก๊าซไนโตรเจน อย่างไรก็ตาม ปริมาณเหล่านี้ถือว่าน้อยเมื่อเทียบกับภาคการผลิตอื่นๆ เช่น จอแสดงผลคริสตัลเหลวแบบแบนและอุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์ ที่นี่พวกเขาใช้การไหลของก๊าซหลายพันลิตรต่อนาทีที่มี PFCs ในสัดส่วนที่ใกล้เคียงกัน
สำหรับการทำความสะอาดเครื่องมือ รัฐบาลภายใต้แรงกดดันในการกำหนดและปฏิบัติตามมาตรฐานการปล่อยก๊าซที่เข้มงวด มีความกระตือรือร้นที่จะควบคุมศักยภาพของภาวะโลกร้อนในอุตสาหกรรมดังกล่าว
“เราเห็นผู้ผลิตแผงแบนและเซลล์แสงอาทิตย์จำนวนมากขึ้นในเอเชียและโดยเฉพาะในจีน” กล่าว
“ผู้ผลิต
จะต้องปฏิบัติตามกฎระเบียบท้องถิ่นที่เข้มงวด ซึ่งหมายความว่าพวกเขาต้องใช้แนวทางที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นในการจัดการกับก๊าซเสีย” เพื่อช่วยลดการปล่อยมลพิษจากกระบวนการผลิตให้ดียิ่งขึ้น บริษัทต่าง ๆ ยังกำหนดเป้าหมายการใช้พลังงานอีกด้วย ระบบลดขนาดและปั๊มสุญญากาศ
ได้รวมคุณสมบัติการประหยัดพลังงานมาหลายปีแล้ว แต่ด้วยการรวมเข้าด้วยกันในระบบเดียว อ้างว่าสามารถลดต้นทุนของเชื้อเพลิงมีเทนและไฟฟ้าที่ใช้ได้อีก ในทำนองเดียวกัน เน้นย้ำว่าเครื่องมือของบริษัทจะเพิ่มขีดความสามารถในการประมวลผลโดยไม่เพิ่มการใช้พลังงาน ซึ่งจะนำไปสู่การลด
การปล่อยมลพิษอย่างมีประสิทธิภาพ ปัจจุบัน ผู้ผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ของโลกกำลังเข้าร่วมกับอุตสาหกรรมอื่นๆ ที่ใช้ประโยชน์จากเซมิคอนดักเตอร์โดยตรงเพื่อช่วยลดการปล่อยก๊าซเรือนกระจก เช่น บริษัทผลิตเซลล์แสงอาทิตย์และผู้ผลิตไดโอดเปล่งแสง เน้นย้ำว่าเพื่อให้แน่ใจว่าข้อมูลรับรอง
ด้านสิ่งแวดล้อมของพวกเขาสะอาด บริษัทเหล่านี้ต้องใช้ประโยชน์จากการลดก๊าซด้วย ซึ่งเป็นจุดเริ่มต้นของการตระหนักรู้ทั่วโลกมากขึ้นเกี่ยวกับการปล่อยมลพิษ ก็ยังเป็นที่ถกเถียงกันอยู่ การทดลองบางอย่างได้รับการตีความว่าการไหลเพิ่มขึ้นในลักษณะแบบขั้นบันไดโดยมีความกว้าง โดยที่การไหลจะเพิ่มขึ้น
ก็ต่อเมื่อมีช่องทางเพิ่มเติมเกิดขึ้น อย่างไรก็ตาม การทดลองอื่นๆ แนะนำให้เพิ่มการไหลอย่างต่อเนื่องพร้อมความกว้าง ซึ่งสามารถเข้าใจได้ด้วย “เอฟเฟกต์ซิป” เพื่อหาคำตอบว่าแท้จริงแล้วเกิดอะไรขึ้น การทดลองในห้องปฏิบัติการหลายครั้งได้ดำเนินการเมื่อเร็วๆ นี้เพื่อศึกษาปัญหาคอขวดของคนเดินเท้า ทางข้ามลำธาร และลักษณะสำคัญในการออกแบบอาคารที่เรียกว่า
